2018年12月11日至13日，第十六届中国国际半导体博览会（IC China 2018）在上海新国际博览中心举办，我司作为“02”专项企业代表之一亮相，展出了面向超大规模集成电路量产制造90nm分辨率节点的SSA600/20 ArF步进扫描投影光刻机。SMEE展位：W3—015，欢迎莅临参观！
